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產(chǎn)品詳細(xì)

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產(chǎn)品名稱: VC-04

發(fā)布日期: 2017-04-12

點(diǎn)擊數(shù): 2188

詢價(jià): 點(diǎn)擊產(chǎn)品詢價(jià)

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產(chǎn)品詳情

陶瓷真空吸盤
晶圓夾持系統(tǒng)的作用不僅包括在加工中帶動(dòng)晶圓運(yùn)作,還要將加工所需要的工作載荷作用在晶圓上,并保證晶圓在加工載荷的作用下不會(huì)發(fā)生翹曲變形。因此晶圓夾持系統(tǒng)的性能對提高最終晶圓產(chǎn)品的質(zhì)量有重要意義。目前在晶圓夾持系統(tǒng)中使用最廣泛的方法是利用真空負(fù)壓來吸附工件,『真空吸盤』具有高效率、無污染、定位精度高等優(yōu)良特性。

上一個(gè):VC-05

下一個(gè):VC-03

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