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產品詳細

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產品名稱: VC-07

發(fā)布日期: 2017-04-12

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產品詳情

陶瓷真空吸盤
晶圓夾持系統(tǒng)的作用不僅包括在加工中帶動晶圓運作,還要將加工所需要的工作載荷作用在晶圓上,並保證晶圓在加工載荷的作用下不會發(fā)生翹曲變形。因此晶圓夾持系統(tǒng)的性能對提高最終晶圓產品的品質有重要意義。目前在晶圓夾持系統(tǒng)中使用最廣泛的方法是利用真空負壓來吸附工件,『真空吸盤』具有高效率、無汙染、定位精度高等優(yōu)良特性。

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